Aufbereitete Y06/6 PFPE-Vakuumpumpenflüssigkeit, lose nach Pfund (lb.) verkauft. Zu den vielen Eigenschaften dieses PFPE-Öls gehört, dass es nicht entflammbar, thermisch stabil, radioaktiv stabil, hochdielektrische Eigenschaften besitzt und sowohl bei hohen als auch bei niedrigen Temperaturen funktioniert. Das in diesem Öl enthaltene Fluor sorgt für thermische, chemische und oxidative Stabilität. Das Vorhandensein von Sauerstoff verleiht der Polymerkette Flexibilität, ein ausgezeichnetes Fließverhalten bei niedrigen Temperaturen und einen hohen Viskositätsindex für lineare PFPEs. Aufgrund seiner chemischen Inertheit ist es mit Kunststoff, Metall und Elastomeren kompatibel und weist eine geringe Mischbarkeit mit Lösungsmitteln und Wasser auf.

Merkmale

• Reagiert nicht mit den meisten ätzenden Dämpfen und fungiert nicht als Brennstoff beim Pumpen von Sauerstoff oder Oxidationsmitteln
• Widersteht hohen Temperaturen und Sauerstoffbedingungen (Entfernen von Fotolack), Prozessen, bei denen Lewis-Säuren entstehen (Ätzen von Aluminium), Produkten aus dem Ätzen mit Schwefelhexafluorid, den meisten Säuren, Basen und Oxidationsmitteln
• Zu den Anwendungen gehören extreme Betriebsbedingungen, das Pumpen von Sauerstoff oder anderen Oxidationsmitteln, das Entfernen von Fotolack, LPCVD, Plasmaätzen und reaktives Ionenätzen.
• Empfohlen für direkt- und riemengetriebene Drehschieberpumpen, die unter extremen Betriebsbedingungen in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt werden
• Hohe thermische Stabilität. Thermische Zersetzung tritt erst bei Temperaturen über 290 °C (554 °F) auf.
• Sehr großer Temperaturbereich: -100 °C 290 °C
• Gewichtsverlust von nur 0,3 % bei 204 °C