Alle Vakuumpumpenflüssigkeiten

Krytox™ VPF sind hochwertige mechanische Vakuumpumpenflüssigkeiten aus synthetischem Perfluorpolyether (PFPE). Sie sind das Produkt der Wahl, wenn absolute Nichtentflammbarkeit, Sauerstoffverträglichkeit und Beständigkeit gegenüber aggressiven Chemikalien erforderlich sind.

Aufgrund des niedrigen Dampfdrucks und der Möglichkeit der Rückgewinnung ist es eine ausgezeichnete Wahl für Plasma-, CVD- und andere Halbleiterverfahren. Diese synthetischen Schmierstoffe bieten überlegene Leistung und längere Lebensdauer als Schmier- und Dichtungsmittel in:

  • Vakuumpumpen, bei denen Sicherheit von entscheidender Bedeutung ist
  • Feindliche Umgebungen, in denen Halbleiterprozesschemikalien die meisten anderen Schmiermittel angreifen können
  • Ventile, Dichtungen, Lager und Anschlüsse von Vakuumsystemen, bei denen niedriger Dampfdruck, Ausgasung und Verunreinigung nicht tolerierbar sind
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